Ollaan totta,{0}}hehkutusuunin valinta ei ole vain valintaruutujen valinta. Tarkoituksena on löytää jotain, joka sopii työnkulkuusi, olitpa sitten puuhastelussa laboratoriossa tai kekseliäsi kiekkoja 24/7. Meillä on kuusi RTP (Rapid Thermal Processing) -mallia, joista jokainen on suunniteltu tiettyjä töitä varten, joten selvitetään, miten voit löytää sen, joka todella toimii sinulle-ei päinvastoin.
Ensinnäkin: Selvitä tärkeimmät perusasiat
Ennen kuin juutut teknisiin tietoihin, aloita kolmella yksinkertaisella kysymyksellä. Nämä poistavat melun nopeammin kuin mikään muu.
1. Kuinka paljon tienaat ja minkä kokoisia kiekkoja käytät?
Tuotosi ja kiekkokokosi eivät ole -neuvoteltavissa-, joten ne sulkevat välittömästi pois mallit, jotka eivät kestä tai sovi osiin.
Esimerkiksi:
Jos olet yliopiston laboratorio, joka testaa uusia materiaaleja 4-tuumaisilla kiekoilla (ja tarvitset vain kourallisen viikossa), Desktop RTP -laitteistomme on täydellinen. Sen maksimileveys on 6 tuumaa ja se sopii työpöydälle – jättiläismäistä jalanjälkeä ei tarvita.
Jos etsit 8-tuumaisia kiekkoja (esim. 500-2000 viikossa) keskimääräiseen-volyymiin, puoliautomaattinen RTP-laitteisto on järkevä. Se kestää 8–12 tuumaa ja vähentää manuaalista työtä ilman täyden automaation kustannuksia.
Suuria-volyymejä myyviin liikkeisiin (2,000+ kiekkoa viikossa, 12- tuuman koko) tarvitset automaattisen RTP-laitteen tai korkean-lämpötilan hapetuksen RTP-laitteen. Automaattinen toimii 24/7 robottien kanssa – ilman inhimillistä virhettä hidastamassa asioita.
Se on yksinkertaista: älä osta 12-tuuman uunia, jos käytät vain 6 tuuman kiekkoja. Hukkaat tilaa ja rahaa.
2. Mitä tarkalleen yrität tehdä?
Uunimme eivät ole yksittäisiä-temppuponeja-, mutta ne on optimoitu tiettyihin töihin. Jos sinun on kasvatettava SiO₂-kalvoja CMOS-siruja varten, älä tartu malliin, joka on valmistettu matalalla-lämpöhehkutuksella.
Tässä nopea ottelu:
Kasvatatko puhtaita, tiheitä SiO₂-kalvoja (IGBT:tä tai MEMS:iä varten)? Käytä High{0}}Temperature Oxidation RTP -laitetta. Se saavuttaa tarkat lämpötilat (600–1150 astetta) ja pitää hapen erittäin alhaisena-filmin laadun kannalta kriittisenä.
Haluatko vaihtaa hapettumisen, diffuusion ja hehkutuksen välillä (kaikki yhdessä koneessa)? Oksidaatio- ja diffuusio-RTP-laitteet ovat sinun kaverisi. Siinä on 1–4 prosessiputkea, joten voit tarvittaessa suorittaa kahta työtä kerralla.
Työskenteletkö optoelektroniikan (kuten VCSEL) kanssa, joka tarvitsee matalan{0}}lämpöhehkutuksen (250–500 astetta)? Low-Temperature RTP -laitteet on tehty tätä varten. Se välttää herkkien materiaalien palamisen ja pitää hiukkaset alhaalla-avain opto-laitteen suorituskyvyn kannalta.
Tarvitsetko vain perushehkutusta (kuten ioni-istutuksen{0}}parannuksia) prototyypeille? Desktop RTP tekee työn mutkistamatta asioita liikaa.
3. Mitä materiaaleja käytät?
Kaikki uunit eivät pelaa hyvin kaikkien materiaalien kanssa.
Ohita arvailu:
Pii (IC:ille tai tavallisille IGBT:ille)? Useimmat mallit toimivat, mutta hapetus- ja diffuusio-RTP-laitteisto on loistava, jos tarvitset useita prosesseja.
Leveä{0}}kaistaväli, kuten SiC tai GaN (sähköautojen tehomoduuleille)? Oksidaatio- ja diffuusio-RTP-laitteet käsittelevät niiden suuret-lämpötarpeet (400–1200 astetta) tai korkean-lämpötilan hapetus-RTP:n, jos keskityt elokuviin.
Litiumniobaatti (optoelektroniikkaan)? Pysy matalan{0}}lämpötilan RTP-laitteistossa. Sen 250–500 asteen vaihteluväli ei vahingoita materiaalia, kuten korkealla-lämpömallilla.
Seuraavaksi: Sukella teknisiin tietoihin, jotka todella vaikuttavat työhön
Kun olet saanut perusasiat, on aika tarkistaa tiedot, jotka tekevät prosessistasi tai rikkovat sen. Älä jää jumiin jokaiseen numeroon-keskity näihin kolmeen.
Lämpötilan hallinta: tee se oikein, tai osasi kärsivät
Jos prosessisi vaatii tiukkaa lämpötilan hallintaa, älä tee kompromisseja. Esimerkiksi:
Matala-lämpötilan RTP-laitteistossa on 860mm tasainen vyöhyke (se on tasaisen lämmön alue) -, joka on täydellinen varmistamaan, että erän jokainen kiekko saa saman käsittelyn.
High-Temperature Oxidation RTP-laitteisto saavuttaa ±0,5 asteen tarkkuuden-ei-neevoteltavissa, jos kasvatat SiO₂-kalvoja, joissa pienikin lämpötilan muutos heikentää laatua.
Jos vaihdat matalan ja korkean lämpötilan välillä (esim. 500–1000 astetta), puoli-automaattisissa tai automaattisissa RTP:issä on kaksi ohjausta: lämpöparit alhaisempia lämpötiloja varten, pyrometrit korkeampia lämpötiloja varten. Manuaalisia säätöjä ei tarvita.
Automaatio: Kuinka paljon työtä haluat tehdä?
Automatisointi ei ole vain "hienoa"-, se on johdonmukaisuutta ja nopeutta.
Jos olet laboratoriossa, jossa yksi henkilö käsittelee näytteitä, manuaalinen lataus (Desktop RTP -laitteisto) on hyvä. Et tarvitse robotteja 10 kiekkoon viikossa.
Keskimääräisellä äänenvoimakkuudella Semi{0}}Automatic RTP:n automaattinen kammion ovi säästää aikaa,{1}}kun lataat kiekon, painat käynnistystä ja luukku avautuu/sulkeutuu itsestään. Vähemmän seisomista, vähemmän virheitä.
Suuret{0}}volyymit kaupat? Automaattisen RTP:n robotit käsittelevät lastauksen, kohdistamisen ja jäähdytyksen,{1}}ja se muodostaa yhteyden tuotannonhallintajärjestelmääsi. Sen jopa kiekkojen rikkoutumisaste on alle 1:10 000. Investoinnin arvoinen, jos seisokit maksavat sinulle rahaa.
Tunnelma: Pidä epäpuhtaudet poissa (jos tarvitset)
Jos prosessisi on herkkä hapelle (kuten puolijohteen doping), älä ohita tätä.
Puoli{0}}automaattiset ja automaattiset RTP:t pitävät happea alle 1 ppm-erittäin puhtaana. Niissä on myös 6 MFC:tä (massavirtauksen säädintä), jotka säätävät kaasuseoksia juuri niin kuin haluat.
Desktop RTP -laitteisto on alle 3 ppm-riittävän hyvä perustöihin, mutta ei erittäin{2}}puhtaisiin prosesseihin.
Jos teet vain yksinkertaista hapetusta, 3 ppm on hyvä. Jos teet siruja, joissa pienikin epäpuhtaus tappaa suorituskyvyn, kevät<1 ppm models.
Lopuksi: Älä unohda käytännön asioita
Paraskaan uuni ei toimi, jos se ei sovi tilaan tai budjettiin.
Tila: Mittaa ensin, osta myöhemmin
Laboratorio vai pieni kauppa? Pöytäkoneen RTP on 910 mm × 860mm × 695 mm-suunnilleen suuren työpöydän kokoinen.
Keskikokoinen laitos? Puoli{0}}automaattinen RTP (8-tuumainen malli) on 970 mm × 1 550 mm × 2 160 mm – edelleen hallittavissa, mutta tarvitset erillisen paikan.
Iso tehdas? Automaattisen RTP:n kaksoisontelo
Turvallisuus: se ei ole{0}}neuvoteltavissa (mutta me hoidamme sinut)
Kaikki mallimme täyttävät SEMI S2 -standardit{1}}alan turvallisuussäännöt. Mutta joillain on lisäetuja:
Automaattisessa RTP-laitteessa on yhden painikkeen{0}}hätäpysäytys, ja se varoittaa ylikuumenemisesta tai vesivuodoista-, jotka ovat kriittisiä 24/7-käytössä.
Desktop RTP -laitteissa on summerit ja varoitusvalot{0}}yksinkertaiset, mutta tehokkaat laboratorioissa, joissa joku saattaa jongleerata useita tehtäviä.
edelleen jumissa? Olemme täällä auttamassa
Olkaamme rehellisiä,{0}}joskus sinun on puhuttava siitä. Jos olet aidalla (esim. valitset puoli-automaattisen tai automaattisen määrän kasvattamiseksi), voimme:
Käy läpi nykyinen työnkulkusi ja miten voit skaalata.
Näytä esittely siitä, kuinka malli käsittelee tiettyä prosessiasi.
Jopa säädä mallia (kuten lisäämällä ylimääräisiä prosessiputkia) tarpeidesi mukaan.
Emme myy "yksi koko-sopii-kaikki"-myymme uuneja, jotka toimivat työhösi. Testaatpa uusia materiaaleja tai käytät tuotantolinjaa, löydät sinulle sopivan mallin.
Ota yhteyttä tekniseen tiimiimme,{0}}me autamme sinua löytämään sen.
