Kolmiulotteinen optinen profilometri mahdollistaa tarkkuuden mikrometristä nanometriin valkoisen valon interferenssin tai konfokaalitekniikan avulla ja analysoi kiinteän materiaalin pintojen kolmiulotteisen morfologian, karheuden ja ääriviivat. Tällä instrumentilla on kosketuksettomat mittausominaisuudet, mikä estää mitatun pinnan vahingoittumisen, ja se soveltuu erilaisille materiaaleille, kuten läpinäkyvälle/metallille/korkealle heijastukselle. Mekaanisen valmistuksen, puolijohteiden, ilmailun jne. aloilla 3D-optisia profilometrejä käytetään laajalti laadunvalvonnassa, prosessien valvonnassa ja tuotekehityksessä.
Vuoteen 2025 mennessä valtavirtamalleilla, kuten ZeGage Prolla ja SuperViewW1:llä, on sekä seisminen suorituskyky että automaattiset mittausominaisuudet, ja mittaustarkkuus ylittää 0,1 nm. Laitteen toimintoihin kuuluvat mikromorfologian analyysi, kaarevuuslaskenta ja ohutkalvon ominaisuuksien havaitseminen, jotka ovat ISO 25178 -standardin mukaisia ja joista on tullut nykyaikaisen tarkkuusvalmistuksen ydintunnistuslaitteisto.
