Oletko kyllästynyt isoihin laitteisiin, jotka valtaavat laboratoriosi tai pienen tuotantotilan? RTP-100 desktop RTP-järjestelmä on suunniteltu pienille kiekkoille (enintään 6 tuumaa)-täydellinen tiimeille, jotka tarvitsevat tarkkuutta neliöistä tinkimättä. Se on yksinkertainen, luotettava ja räätälöity tutkijoiden ja pienten valmistajien päivittäisiin tarpeisiin.
Mitä me rakastamme siinä
Istuu kuin hanska: 910 mm × 860 mm × 695 mm (L × S × K) se liukuu ahtaisiin kulmiin tai ahtaisiin työpenkkeihin. Koko kokoonpanoa ei tarvitse järjestää uudelleen vain lämpökäsittelykyvyn lisäämiseksi.
Lämpötilansäätö, johon voit luottaa: Kaksi tapaa säätää lämpöä-lämpöpari huonelämpötilaan 800 asteeseen asti ja infrapunapyrometri 500 - 1200 asteeseen. Kuumentaa kiekot jopa 150 astetta/s (paljon nopeammin kuin piikarbidi- tai grafiittialustalla, jonka yläraja on 20-30 astetta/s). Ja johdonmukaisuus? Vähemmän tai yhtä suuri kuin ±3 astetta tasaisesti alle 600 astetta , Vähemmän tai yhtä suuri kuin ±0,5 % sen yläpuolella, plus ±1 asteen toistettavuus – joten tulokset eivät vaihtele erissä.
Ei hätää-: Manuaalinen lataaminen/purkaminen pitää asiat yksinkertaisina (hienoa, jos haluat ohjata kädet-), kun taas summeri ja varoitusvalot ilmoittavat, jos jokin on pois päältä. PC-ohjaus tekee myös parametrien säätämisestä helppoa-ei vaadi monimutkaista koulutusta.
Kattaa perusasiat (ja sitten joitain): Kestää tyhjiön 30 mTorr asti, pitää hapen alle 3 ppm:ssä ja tukee jopa 4 MFC-kanavaa. Olitpa tekemässä ioni-implantaatiohehkutusta, oksidikasvatusta tai pienten näytteiden lämpökäsittelyjä, se tarkistaa kaikki laatikot nopean lämpökäsittelyn varalta.
Kenelle se on tarkoitettu
Tämä ei ole tarkoitettu suurille-mittakaavan tehtaille-, vaan laboratorioteknologialle, joka suorittaa päivittäisiä kokeita, pienille valmistajille, jotka valmistavat mukautettuja komponentteja, tai tutkimustiimille, jotka testaavat uusia materiaaleja. Jos työskentelet pienten kiekkojen kanssa ja tarvitset tasaisia tuloksia ilman teollisuus-kokoisten varusteiden vaivaa, tämä on sinua varten.
Pikavinkkejä oikeaan käyttöön
Lämpötilatilojen vaihto: Käytä lämpöparia jopa 800 asteen lämpötiloissa ja käännä PC-ohjelmiston infrapunalle, jos haluat kuumempaa. Järjestelmä kalibroi itsensä automaattisesti-hyvä kosketus.
Ladataan kiekkoja: Älä ohita puhtaita käsineitä! Sormenjäljet tai pöly tuhoaa tuloksia. Käsittele varovasti, ei putoamista, ja varmista, että se on keskitetty kantajaan-yksinkertaisia ohjeita, jotka säästävät päänsärkyä myöhemmin.
Yleisiä korjauksia: Jos summeri soi käynnistyksen yhteydessä, tarkista ensin, onko kavion ovi lukittu tiukasti (olemme kaikki unohtaneet sen!). Jos lämmitysnopeus ei ole 150 astetta/s, varmista, että et käytä kantolaitetta,{2}}jotka hidastavat sitä. Ja jos kiekot hapettavat odottamatta, tarkista tyhjiö (pitäisi olla pienempi tai yhtä suuri kuin 30 mTorr) ja happitasot (säilytä se)<3 ppm).
Huolto, jolla on merkitystä: Pyyhi kvartsikammio alkoholilla viikoittain-likaa kerääntyy nopeammin kuin uskotkaan. Tarkista lamput 3 kuukauden välein (vaihda 1000 tunnin jälkeen) ja tiivisterenkaat kuukausittain halkeamien varalta. Ja älä anna vesijäähdytyksen nousta yli 70 asteeseen -se on nopea tapa vahingoittaa osia.
Kiinteä työhevonen
Sertifioitu SEMI S2 -standardien mukaan, tämä laite on rakennettu kestämään. Siinä ei ole räikeitä lisäominaisuuksia, joita et koskaan käytä, mutta se täyttää olennaiset: tarkkuus, kompakti ja helppokäyttöisyys. Laboratorioille ja pienille tiimeille, jotka tarvitsevat joka päivä toimivan lämpökäsittelyratkaisun, RTP-100 ei ole-huomio. Se ei ole täydellinen (mikään ei ole!), mutta se on luotettava – ja sillä on merkitystä, kun yrität pitää kokeet tai tuotannon raiteilla.
