Tämä täysin automaattinen{0}}linjassa oleva laminaarivirtauskuivain sopii suoraan puhdistus- tai etsausasennuksiin-muokattu-, joka on suunniteltu vastaamaan puolijohdeprosessin tarpeita. Se on suunniteltu seuraamaan QDR- tai ultra-puhdas vesi (DIW) -sirun puhdistusta ja lukitsee "Dry in → Dry out" -työnkulkuun, joka vähentää kosteudenpitoa-.
Se on valmistettu SUS-304 elektrolyyttisellä kemiallisella käsittelyllä (EP) koripidikettä, kääntöpöytää ja kosketusnestekammiota varten. Se käsittelee 6-tuuman/4 tuuman "full cover" -kasetteja (toimittamasi) ja puolijohdemateriaaleja, joiden koko on vähintään 300 μm. Sirpaloitumisaste pysyy alle 1:ssä 10 000:ssa, kun kyseessä ovat koneisiin liittyvät vialliset tuotteet, poislukien tietysti.
Avainbitit: PLC-älykäs ohjaus luotettavaan ja intuitiiviseen käyttöön; 3 hevosvoiman vaihtuvataajuinen moottori (0-999 rpm) hihnakäytöllä, joka vaatii vähän huoltoa; typpi{5}}suljettu kara (sokkelorakenne), joka pitää kammion eristettynä. Lisäksi ioninpoistoaine, ilmansuodatin ja tuotu silikoni + sähkölämmitys-ei tippumista kuivauksen jälkeen.
780 × 1 510 × 1 140 mm (ovikorkeus 1 820 mm) ja ~ 450 kg, ja siinä on 4- aseman symmetrinen asettelu. Ruostumattomasta teräksestä valmistettu ovi on sylinterikäyttöinen (takana 90 astetta aukeava) fluorikumitiivisteellä. Pakokaasun (halkaisija 110 mm) ja viemärin (DN32 PVC) liitännät tekevät integroinnista helppoa.
Puolijohdevalmistajille se on vakaa poiminta-vakaa (vähintään enintään 90 μm nopeudella 350 rpm), tarkka ja suunniteltu minimoimaan jätettä ja pitämään työnkulut oikeilla jäljillä. Ei hienouksia, vain luotettava suorituskyky tuotantolinjallesi.
