Tuotekatsaus

Pystysuora kiekkokuivausrumpu -tämä on rakennettu tarkasti ja räätälöity erityisesti kyseisten alojen tiukkoja vaatimuksia varten.
Mikä tekee siitä käytännöllisen? Ensinnäkin siinä on kaksi erillistä kammiota,{0}}joten voit suorittaa erilaisia prosesseja samanaikaisesti ilman ristikontaminaation-menoa, mikä säästää{2}} valtavasti aikaa kiireisillä tuotantolinjoilla. Sitten on edistynyt ohjausjärjestelmä; se ei vain "ohjaa" asioita, vaan hienosäätää kaikki parametrit pitämään johdonmukaisuuden-kiinteänä. Ja mikä parasta, se yhdistää puhdistuksen ja kuivauksen samassa yksikössä-ei tarvitse siirtää kiekkoja koneesta toiseen, mikä vähentää käsittelyä ja vaurioitumisriskiä.

Loppujen lopuksi valmistajat välittävät luotettavuudesta ja puhtaudesta,{0}}ja tämä kuivausrumpu tarjoaa molemmat. Se on sellainen laite, joka ei vain täytä alan standardeja, vaan sopii sujuvasti todellisten tuotantotiimien toimintaan.

Sovellukset

Vertical Wafer Dryer on suunniteltu käsittelemään kuivaustyötä SPM-happopuhdistuksen ja orgaanisen puhdistuksen-kaksi vaihetta, joissa jäämien hallinta on ensiarvoisen tärkeää. Sen lisäksi se tukee myös jälkikuivaustarpeita-fotolitografian kehittämiseen, fotoresistin poistoon, ITO/BOE-etsaukseen ja spin-pinnoitukseen. Suurin etu tässä on sen johdonmukaisuus: se varmistaa, ettei jäämiä epäpuhtauksia tai hiukkasongelmia ole, pitäen prosessin laadun vakaana erä toisensa jälkeen.

Tämä pystysuora kiekkojen kuivausrumpu toimii myös{0}}suurten panosten sovelluksissa. Mikro-antureiden ja sirujen kiekkotason pakkauksissa se pitää pirstoutumisasteen alle 1/10 000-, mikä merkitsee suoraan valmistajien kustannussäästöjä. Lisäksi se soveltuu hyvin-lämpötilaherkkien erikoiskiekkojen, kuten galliumarsenidin ja safiirin, käsittelyyn. Nämä materiaalit ovat herkkiä, mutta kuivausrumpu täyttää äärimmäisen-puhtausvaatimukset ja vähäiset{12}vauriot, joten sinun ei tarvitse huolehtia prosessiin liittyvistä vioista.

Edut

Mayrinthin typpitiivistys, ontelon ja ontelon eristys, ei kosketustiivistysvaikutusta prosessin ympäristövaatimusten varmistamiseksi.

Shock online-tunnistus

Sähköstaattinen eliminointitoiminto, tuote tuottaa staattista sähköä suurella nopeudella, korkeajännitteisen sähköstaattisen poistolaitteen käyttö tuotteen pinnan neutralointitilan saamiseksi

Mekaaninen itse{0}}nollaustoiminto, pysäytä valmiustilan sirulaatikko ylöspäin

Parametrit

Luokka	Tuote	Tekniset tiedot
Perustiedot	Tuotteen nimi	Pystysuuntainen kaksikammioinen kuivausrumpu
	Mallinumero	Puolipehmeä-QX-61-2M-A
	Koko (viite)	P×S×K=Pinnan leveys 490 mm × syvyys 937 mm × korkeus 1880 mm
	Paino (noin)	260kg
Prosessiontelo ja kasetti	Prosessiontelo	Kaksoisontelo (ylempi ja alempi), itsenäisesti ohjattavissa; voidaan sijoittaa 6" räätälöity kannatinroottori
	Käytetty kasettityyppi	KM-40N (100 mm), A182-60 MB (150 mm)
	Puhdistus- ja kuivausosien tekniset tiedot	Varustettu 2 kpl 4" mukautetuilla roottorilla; asiakkaan toimittama kasetti, roottorin osat ovat lopullisia suunnittelunäytteitä
Toimintaparametrit	Käsittelyajan asetus	1s - 900s; huoltotarkkuus Vähemmän tai yhtä suuri kuin ±5 %
	Työnopeus	100-2500 rpm/min (säädettävä tuotteen ominaisuuksien ja prosessin mukaan); nopeusvirhe < ±2 %
	Kammion kuivauslämpötila-alue	Minimi: suurempi tai yhtä suuri kuin 45 astetta ; Enimmäiskulma: pienempi tai yhtä suuri kuin 85 astetta
	Kuivapuhtausvaatimus	Hiukkaset suurempi tai yhtä suuri kuin 0,3 μm < 30 jyvää/kiekko
	Laitteiden KÄYTTÖAIKA	suurempi tai yhtä suuri kuin 95 %; keskimääräinen kuukausittainen ongelmaton{1}}työaika Yli tai yhtä suuri kuin 648 tuntia
	Toiminnan pirstoutumisnopeus	Pienempi tai yhtä suuri kuin 1/10 000
Mediavaatimukset	Deionisoitu vesi	Painealue: 0,2 ~ 0,4 Mpa; maksimi virtaus: 0,7m³/h
Mediavaatimukset	Typpi	Painealue: 0,5 ~ 0,6 Mpa; maksimikulutus: 18-20m³/h; käytetään lämmitykseen ja tiivistykseen
Toiminnot ja suojaus	Suihkupuhdistus	Varustettu suihkepuhdistuslaitteella ja ontelon itsepuhdistusprosessilla
	Tiivistys käytön aikana	Kammion ovi ja moottorin akseli tiivistetty typellä
	Vuodon havaitseminen	Sisäänrakennettu{0}}vuotoanturi; laukaisee vuotohälytyksen vuodon välttämiseksi
	Prosessin suojaus	Kun prosessi on valmis, käyttöliittymää ei voi käyttää, jos ovea ei avata tuotteiden poistamiseksi, jolloin vältetään toissijainen käyttö
Ohjausjärjestelmä	Core Control	PLC ohjelmoitava ohjaus; säästää 10 prosessiosaa (10 vaihetta per osa); käyttäjät voivat ottaa käyttöön/pois päältä jokaisen ali-toiminnon tarpeen mukaan
	Lupien valvonta	2 tyyppistä käyttöoikeuksien valvontaa, jokaiseen on määritetty käyttöoikeussalasana
	Näyttötoiminto	Näyttö näyttää tiedot kustakin prosessista
	Ohjaustila ja käyttöliittymä	Jokaista kammiota voidaan ohjata itsenäisesti; käyttöliittymä: LCD-kosketusnäyttö

FAQ

Mille teollisuudenaloille tämä pystysuuntainen kiekkokuivain on tehty?

Se on ensisijaisesti räätälöity puolijohde- ja mikroelektroniikan aloille-ajatella skenaarioita, joissa erittäin-puhtaiden kiekkojen kuivaaminen ei ole-neuvoteltavissa. Jokainen sen suunnittelun osa nojaa näiden teollisuudenalojen ainutlaatuisiin tarpeisiin.

Mitä ydinprosesseja se pystyy käsittelemään?

Se kattaa koko joukon keskeisiä kiekkojen käsittelyvaiheita. Se huolehtii erityisesti jälki-kuivauksesta SPM-happopuhdistuksen, orgaanisten liuottimien puhdistuksen, fotolitografian kehittämisen, fotoresistin poiston, ITO/BOE-etsauksen ja linkouspinnoituksen-kaikki kriittiset kohdat, joissa perusteellinen kuivaus on tärkeää.

Mitä hyötyä sen kaksinkertaisesta{0}}ontelosta on?

Ylä- ja alaontelot toimivat itsenäisesti{0}}voit ohjata kutakin erikseen. Tämä tarkoittaa, että voit käsitellä kiekkoja molemmissa samanaikaisesti, mikä todella parantaa tuotannon tehokkuutta. Lisäksi, jos eri prosessit tarvitsevat erilaisia parametreja, jokainen ontelo pystyy käsittelemään omat asetukset täydellisesti.

Mikä on puhtausstandardi kuivauksen jälkeen?

Se on melko tiukkaa, ja hyvästä syystä. Kuivauksen jälkeen jokaisessa kiekossa on alle 30 hiukkasta, jotka ovat 0,3 μm tai suurempia. Se vastaa puolijohteiden valmistuksen korkeita{4}}puhtausvaatimuksia.

Onko helppo käyttää?

Täysin. Siinä on LCD-kosketusnäyttö ja ohjelmoitava PLC-ohjaus-erittäin intuitiivinen. Voit tallentaa enintään 10 prosessiosaa, ja jokaisessa osassa voi olla 10 vaihetta. Turvallisuussyistä on myös-kaksoisluvan salasanojen hallinta. Jopa uudet operaattorit oppivat perusasiat nopeasti.

Kuinka luotettava laite on?

Sen toiminnan vakaus on suuri myyntivaltti. Laitteen KÄYTTÖAIKA saavuttaa vähintään 95 %, ja se toimii ongelmitta keskimäärin 648 tuntia tai enemmän kuukaudessa. Vielä parempi, kiekkojen pirstoutumisaste on enintään 1/10 000 käytön aikana,-jotten et menetä paljoa laitehäiriöiden vuoksi.

Mitä mediaa se tarvitsee toimiakseen?

Vain kaksi tyyppiä: deionisoitu vesi ja typpi. Deionisoitu vesi tarvitsee paineen välillä 0,2-0,4 Mpa, maksimivirtauksen ollessa 0,7 m³/h. Typpi vaatii 0,5-0,6 Mpa painetta ja käyttää enintään 18-20 m³/h. Niitä käytetään puhdistukseen, lämmitykseen ja tiivistämiseen - jokaisella on keskeinen rooli työn suorittamisessa oikein.

Suositut Tagit: pystysuora kiekkojen kuivausrumpu, kiina pystysuorien kiekkojen kuivausrumpujen valmistajat, toimittajat