Tuotekatsaus
Nice-Tech tarjoaa kaksi erillistä piietsausjärjestelmää erikokoisille kiekkoille. Molemmat perustuvat ICP-tekniikkaan ja on räätälöity IC-massatuotantoon.
12 tuuman järjestelmä (SES-12)
Keskittyy 12-tuuman IC-etu-prosesseihin (FEOL). Se koostuu ICP-etch-kammioista ja siirtomoduulista, ja se kattaa piietsauksen, dielektrisen etsauksen, porttietsauksen, W-syvennyksen ja SADP:n, jotka on suunniteltu logiikka- ja muistilaitteiden erittäin tarkkaan kuviointiin.
8 tuuman järjestelmä (SES-8)
Moni{0}}kammiojärjestelmä 8- tuuman tehtaille, keskitetty porttiprosesseihin. Se varmistaa alle 5 %:n-kiekkojen ja kiekkojen-välissä etsauksen tasaisuuden, erinomaisen hiukkasten hallinnan ja tukee AA-, STI-, välike- ja W-syvennyksiä.
Edut
Laaja prosessin kattavuus
Meillä on täällä kaksi pääasetusta. 12 tuuman järjestelmä ottaa vastaan kaikenlaisia FEOL-prosesseja ilman ongelmia. Entä 8-tuumainen? Se on keskittynyt porttiin ja siihen liittyviin prosesseihin, ja se sopii täydellisesti 0,11 μm:n ja sitä suurempien solmujen kanssa.
Korkea tarkkuus ja vakaus
Näissä järjestelmissä loistaa tarkkuus. 12-tuumainen malli tarjoaa huipputason-tasaisuuden ja etsauksen selektiivisyyden – juuri sitä, mitä kehittyneet prosessit vaativat. 8-tuumainen versio pitää myös omanlaisensa: alhainen tasaisuuspoikkeama sekä tiukka hiukkashallinta, joten voit luottaa tasaisiin tuloksiin.
Massa-tuotanto ja kustannus-tehokkuus
Mikä parasta, molemmat ovat valmiita massatuotantoon. 12-tuumainen on suunniteltu suuria-tuotantolinjoja varten, mikä on järkevää suurille-volumeille. 8-tuumainen on kuitenkin fiksu valinta, jos lisäät kapasiteettia – se säästää sekä tilaa että kustannuksia, mikä on aina plussaa toiminnalle.
Sovellus
IC FEOL valmistus
12 tuuman järjestelmä 12 tuuman logiikka/muisti FEOL-prosesseille; 8 tuuman järjestelmä 8 tuuman portin etsaukseen.
Kehittyneet prosessit
12 tuuman järjestelmä tukee SADP/W-syvennystä; 8 tuuman järjestelmä toimii STI/spacer-prosesseissa.
Kapasiteetin päivitys
12-tuumainen integroituu suuriin fabeihin; 8-tuumainen tarjoaa kustannustehokasta tukea keskikokoisille pienille laitteille.
Parametrit
|
Luokka |
12 tuuman piietsausjärjestelmä |
8 tuuman piietsausjärjestelmä |
|
Kiekkojen yhteensopivuus |
12- tuuman (300 mm) IC-kiekot, räätälöity massatuotantolinjoille |
8 tuuman IC-kiekot; yhteensopiva 0,11 μm:n ja edistyneen teknologian solmujen kanssa |
|
Kammion kokoonpano |
ICP-etsauskammiot + siirtomoduuli |
ICP-etsauskammiot + siirtomoduuli; moni-kammiosuunnittelu massatuotantoon |
|
Keskeiset prosessiominaisuudet |
Piietsaus, dielektrinen etsaus, porttietsaus, W-syvennys, SADP |
Porttietsaus, AA, STI, välikeetsaus, W-syvennys |
|
Etch Uniformity |
Ylivoimainen yhtenäisyyden hallinta (täyttää edistyneet solmun tarkkuusstandardit) |
Vähemmän tai yhtä suuri kuin 5 % -kiekon sisällä; Vähemmän tai yhtä suuri kuin 5 % kiekko-kiekkoon- |
|
Hiukkasten hallinta |
Tiukka hiukkashallinta takaa korkean tuotteen tuoton |
Erinomainen hiukkasten hallinta vakaaseen massatuotantoon |
|
Teollisuuden vaatimustenmukaisuus |
Soveltuu 12- tuuman IC-volyymien tuotantoon; täyttää puolijohteiden massatuotantostandardit |
Itsenäinen optimoitu suunnittelu; sopii 8 tuuman upeaan tilaan ja kapasiteetin päivityksen kustannusvaatimuksiin |
FAQ
K: Mitä kiekkokokoja nämä kaksi järjestelmää tukevat?
V: 12 tuuman järjestelmä tukee 12 tuuman (300 mm) IC-kiekkoja ja 8 tuuman järjestelmä 8 tuuman IC-kiekkoja.
K: Mitä ydinprosesseja ne kattavat?
V: 12 tuuman järjestelmä kattaa piietsauksen, dielektrisen etsauksen, SADP:n, W-syvennyksen jne.; 8 tuuman järjestelmä keskittyy gate etch -toimintoon ja tukee STI:tä, spacer etchiä jne.
K: Minkä teknologian solmujen kanssa ne ovat yhteensopivia?
V: 12 tuuman järjestelmä mukautuu edistyneen teknologian solmuihin; 8 tuuman järjestelmä on yhteensopiva 0,11 μm:n ja sitä suurempien kehittyneiden solmujen kanssa.
K: Soveltuvatko molemmat järjestelmät massatuotantoon?
V: Kyllä. 12-tuumainen järjestelmä sopii suuriin-tuotantolinjoihin, kun taas 8-tuumainen järjestelmä on tilaa säästävä ja kustannustehokas massatuotannossa.
K: Mikä on 8 tuuman järjestelmän etch-yhdenmukaisuus?
V: Sen -kiekkojen tasaisuus on enintään 5 % ja kiekkojen---tasaisuus on enintään 5 %.
Suositut Tagit: piietsausjärjestelmä, Kiinan piietsausjärjestelmän valmistajat, toimittajat
