Tuotekatsaus
Batch Wafer Cleaner -mukaan lukien 12- tuuman mallit ja 8- tuuman BC-mallit- on rakennettu tarkkaan puolijohteiden valmistukseen ja piikiekkojen käsittelyyn, ja se on erikoistunut märkäetsaukseen ja -puhdistukseen. Mikä erottaa sen muista? Joustavuutta muotoiluun, joka toimii sekä 12-tuumaisissa että 8{10}tuumaisissa kiekoissa, sekä konfiguroitavat käsittelyvaihtoehdot (kasettiton tai kasettityyppinen), jotka sopivat lähes mihin tahansa tuotantokokoonpanoon – suurivolyymisistä 300 mm:n tehtaista vanhoihin 200 mm:n linjoihin.
Konepellin alla se on täynnä ominaisuuksia, joilla on merkitystä tasaisten tulosten saavuttamiseksi: edistynyt kemikaalien hallinta (CCSS/LCSS-tuella), automaattinen prosessin ohjaus annostelulle, lämpötilalle ja virtausnopeudelle sekä alan -standardi SECS/GEM-viestintä. Emme kuitenkaan päässeet suorituskykyyn,{2}}turvallisuus ja tehokkuus olivat myös etusijalla. Saat mielenrauhaa varten sisäänrakennetun-vuotojen havaitsemisen ja ylikuumenemissuojan sekä kemikaalien talteenotto- ja jätteiden luokitusominaisuudet, jotka pitävät toiminnan sujuvana. Syövytpä, puhdistat tai huuhtelet, tämä järjestelmä tuottaa toistettavia tuloksia, joihin voit luottaa-ilman arvailua.
Edut
Muotoilun ja käsittelyn joustavuus
- 12 tuuman malli:Kasetti{0}}vähemmän muotoilua (vähentää kontaminaatioriskiä erittäin-puhtaille 300 mm:n kiekoille).
- 8 tuuman malli:Kaksoiskasettiton/kasetti{0}}tyyppinen käsittely + SMIF POD/FOUP -yhteensopivuus (sopeutuu vanhoihin/nykyaikaisiin 200 mm:n työnkulkuihin).
Tarkka prosessinohjaus
- Standardoidut ominaisuudet:Automaattinen annostelu, tyhjennys ja syöttö sekä lämpötilan, pitoisuuden, virtausnopeuden ja paineen reaaliaikainen-säätö (varmistaa erän-to{2}}tasaisuuden).
- Edistynyt kuivaus:Marangoni/LPD-kuivaus (estää vesitäplät/jäämät herkillä kiekkojen pinnoilla).
Kustannus ja toiminnan tehokkuus
BC3100:n yksinomainen kemikaalien talteenotto (vähentää kemikaalien kulutusta ja jätettä).
Erän ylikuumenemissuoja + vuotoanturit (minimoi seisokit ja materiaalihäviön).
Tehdasintegraatio ja vaatimustenmukaisuus
Täysi SECS/GEM-protokollatuki (mahdollistaa MES-yhteyden älykkäille fab-työnkuluille).
- 8 tuuman malli:Erillinen viemäröinti (yksinkertaistaa vaarallisten jätteiden luokittelua ja säädöstenmukaisuutta).
Sovellukset
IC-valmistusprosessit
- RCA-puhdistus
- PR märkänauha
- Dielektrisen kerroksen märkäsyövytys
- Metallikerroksen märkäsyövytys
Piikiekkojen käsittely
- Alkalietsaus
- Lähetä-kiillotuspuhdistus
- Esipuhdistus-
- Viimeinen huuhtelu
Malli-Tietyt käyttötapaukset
- 12-tuumainen malli: Tehty suureen-volyymituotantoon 300 mm. Ajattele isoja logiikkaa ja muistisiruja, jotka toimivat täydellä nopeudella.
- 8-tuumainen malli: Ihanteellinen 200 mm:n kiekkolinjoille. Sopii erinomaisesti autojen puolijohteisiin ja vanhaan mikroelektroniikkaan-, jotka käyttävät tärkeitä järjestelmiä.
Parametrit
|
Parametri |
12 tuuman moduuli |
8 tuuman BC malli |
|
Vohvelin koko |
12 tuumaa (300 mm) |
8 tuumaa (200 mm) |
|
Työkalun tyyppi |
Kasettia-vähemmän |
Kasettiton tai kasettityyppi |
|
Kiekon kapasiteetti/korkeus |
N/A |
50 kiekkoa (25 kiekkoa/kasetti x 2) / 10 mm jako |
|
Tuetut operaattorit |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Kemikaalitoimituksen tuki |
CCSS, LCSS |
CCSS, LCSS |
|
Kuivaustekniikka |
Marangoni kuiva tai LPD |
Marangoni kuiva, LPD kuiva |
|
Kemianhallinta |
Automaattinen annostelu, ilmaus ja syöttö; |
Automaattinen annostelu, ilmaus ja syöttö; |
|
Turvaominaisuudet |
Kylpyammeen ylikuumenemissuoja; vuotoanturit (yksikön{0}}taso) |
Kylpyammeen ylikuumenemissuoja; vuotojen havaitseminen; erillinen |
|
Kemiallinen regenerointi |
Tuettu |
Ei määritelty |
|
Viestintäprotokolla |
Täysi SECS/GEM-tuki |
Täysi SECS/GEM-tuki |
|
Kasettilähetys |
Ei määritelty |
Tuettu |
FAQ
K: Mitä kiekkokokoja BC-sarja tukee?
V: BC3100 käsittelee 12 tuuman (300 mm) kiekkoja; 8 tuuman BC-malli tukee 8 tuuman (200 mm) kiekkoja.
K: Voiko BC-sarja toimia kasettien kanssa?
V: BC3100 käyttää kasettia{1}}vähemmän suunnittelua; 8-tuumainen malli tukee sekä kasettitonta että kasettityyppistä käsittelyä.
K: Mitä avainprosesseja se suorittaa?
V: Se hoitaa puolijohteiden/kiekkojen RCA-puhdistuksen, PR-nauhan, dielektrisen/metallin etsauksen ja jälki{0}}kiillotuksen.
K: Tukeeko se tehdasintegraatiota?
V: Kyllä-molemmat mallit tukevat täysin SECS/GEM-tiedonsiirtoprotokollaa MES-yhteydelle.
K: Mitä turvaominaisuuksia siinä on?
V: Vakioominaisuuksia ovat kylvyn ylikuumenemissuoja ja vuotojen havaitseminen; 8-tuumainen malli lisää erillisen jätevedenpoiston.
Suositut Tagit: erän kiekkojen puhdistusaine, kiinalaisten kiekkojen puhdistusaineiden valmistajat, toimittajat
