Tuotekatsaus
Tämä yksittäinen kiekkopuhdistin on suunniteltu erityisesti puolijohdekiekkojen työhön,{0}}kattaa kaiken 8-12 tuuman formaateista, ei poikkeuksia. Jokaisessa mallissa on tarkat prosessinsäädöt (ajattele lämmitystä, keskittymistä, virtausnopeutta) ja SECS/GEM-tiedonsiirtoa, joten sen integroiminen älypuhelimiin on helppoa. Mikä parasta, se on täysin konfiguroitavissa vastaamaan sovelluksesi tarpeita.
Näin sarja jakautuu:
SWC 100:
Suunniteltu 12-tuuman kiekkoja ajatellen. Siinä on 8 kammiota ja se toimii 4 FOUP:n kanssa, ja se käsittelee kaikki tavalliset märkäprosessit, joita tarvitset päivittäin-.
SWC 200:
Toinen 12 tuuman fokusoitu vaihtoehto, mutta boost-12 kammiota 8 sijasta sekä 4 FOUP-yhteensopivuutta. Ydinprosessit? Täsmälleen sama kuin SC3100, joten ei uutta oppimiskäyrää.
SEC Plus:
Joustava joukosta. Se toimii sekä 8-- että 12-tuumaisten kiekkojen kanssa, ja voit mukauttaa kammioiden lukumäärän 2:sta kahdeksaan. Täydellinen teholaitteiden ja piipohjaisten prosessien asetuksiin.
Edut
◆ Muotoilun ja konfiguroinnin joustavuus
SWC100 / SWC 200: Kiinteä 12{5}} tuuman tuki (8/12 kammiota) suuren volyymin standardituotantoon.
SEC Plus: 8–12{3}} yhteensopivuus + mukautettavat kammiot, jotka mukautuvat sekamuotoisten/teholaitteiden työnkulkuihin.
◆ Tarkka prosessinohjaus
Kaikki mallit: Lämmitys/konsentraatio/virtaus/paineensäätö sekä valinnaiset kemikaalit (DHF, SC1 jne.) ja 3ea-suuttimet tasaista käsittelyä varten.
SEC Plus: Lisätty hapon/emäksen/orgaanisen pakokaasun erotus + kemiallinen regenerointi, mikä parantaa turvallisuutta ja kustannustehokkuutta.
◆ Laaja yhteensopivuus
SWC100 / SWC 200: 4FOUP-operaattorituki 12 tuuman fab-integraatiolle.
SEC Plus: 2–4 avointa kasettia/SMIF/FOUP-yhteensopivuutta, vanhat ja modernit tuotantolinjat.
Sovellukset
SWC100 / SWC 200 (12 tuuman kiekot)
Ydinprosessit: RCA-puhdistus, GATE-puhdistus, oksidietsaus/kuoritus, fotoresistin poisto.
Erityiset käyttötarkoitukset: hiukkasten/metallin/orgaanisen saastumisen poisto, esi-/-jälkeinen puhdistus, Al/Cu-liitosten puhdistus (logiikka-/muistisiruille).
SEC Plus (8–12 tuuman kiekot)
Kohdelaitteet: piikarbidi/pii teholaitteet, pii{0}}pohjaiset prosessilaitteet.
Tietyt prosessit: taustapuolen ohennus/puhdistus, ohuiden kiekkojen puhdistus, korkean lämpötilan -h3PO4-etsaus sekä tavallinen kontaminaation poisto ja liitosten puhdistus.
Parametrit
|
Erittely |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Vohvelin koko |
12 tuumaa |
12 tuumaa |
8-12 tuumaa |
|
Chambers |
8 kammiota |
12 kammiota |
2-8 kammiota (muokattavissa) |
|
Operaattorin yhteensopivuus |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Avaa Kasetti/SMIF/FOUP |
|
Tuetut kemiat |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Prosessin ohjausominaisuudet |
Lämmitys/pitoisuus/virtaus/painesäätö |
Lämmitys/pitoisuus/virtaus/painesäätö |
Lämmitys/pitoisuus/virtaus/painesäätö |
|
Kemikaalitoimituksen tuki |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Pakokaasun hallinta |
N/A |
N/A |
Erillinen pakokaasu (happo/emäs/orgaaninen) |
|
Lisäominaisuudet |
N/A |
N/A |
Kemiallinen talteenotto; kylvyn ylikuumenemissuoja; vuoto |
|
Viestintäprotokolla |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Mitä kiekkokokoja nämä mallit tukevat?
SWC100 / SWC 200 tukevat vain 12 tuuman kiekkoja; SEC Plus on joustava 8–12 tuuman kiekkoille.
Mitä eroa on SWC100:lla ja SWC 200:lla?
Niillä on samat 12-tuuman prosessiominaisuudet – SC3100:ssa on 8 kammiota, kun taas SWC 200 laajenee 12 kammioon tehokkuuden parantamiseksi.
Mikä malli sopii teholaitteiden käsittelyyn?
SEC Plus on optimoitu piikarbidi-/piivoimalaitteille (tukee takapuolen ohentamista, korkean -lämpöisen H3PO4-etsauksen).
Voivatko nämä järjestelmät yhdistää fabimme MES-verkkoon?
Kyllä-kaikki mallit tukevat täysin SECS/GEM-tiedonsiirtoprotokollaa tehdasintegrointia varten.
Tukeeko SE-sarja kemikaalien kustannussäästöjä{0}?
Kyllä, se sisältää kemikaalien talteenottotoiminnon (kierrättää prosessikemikaalit) ja luokiteltujen jätteiden poiston.
Minkä operaattoreiden kanssa nämä järjestelmät toimivat?
SWC100 / SWC 200 käyttää 4FOUP; SEC Plus tukee 2–4 avointa kasettia/SMIF/FOUP (mukautuu vanhoihin/moderneihin linjoihin).
Suositut Tagit: yhden kiekon puhdistusaine, Kiinan yhden kiekon puhdistusaine valmistajat, toimittajat
